X熒光光譜儀是一種利用物質(zhì)分子內(nèi)部電子激發(fā)躍遷所產(chǎn)生的熒光來研究分子結(jié)構(gòu)的儀器，是通過將樣品受到X射線激發(fā)后熒光信號收集，進而分析和確定樣品中元素的類型、濃度以及化學(xué)狀態(tài)。因此，具有高分辨率、高靈敏度、選擇性和定量分析的優(yōu)點。

 

　　X熒光光譜儀的主要組成部分包括樣品臺、X射線源、熒光計和電子學(xué)系統(tǒng)。樣品臺用于放置樣品，主要有固定和可移動兩種形式。X射線源一般采用射線管，它可以發(fā)射出高能X射線，激發(fā)樣品產(chǎn)生熒光。熒光計用于檢測和放大熒光信號，將熒光轉(zhuǎn)換成電信號，通過放大、濾波和調(diào)制等操作，輸出信號進行分析和處理。電子學(xué)系統(tǒng)包括放大器、高壓穩(wěn)定器、模數(shù)轉(zhuǎn)換器、計算機等，用于控制和處理熒光信號，并生成熒光光譜圖與分析結(jié)果。

 

　　X熒光光譜儀的應(yīng)用十分廣泛，主要應(yīng)用于材料分析、地質(zhì)礦物、元素分析等領(lǐng)域。例如，在材料分析領(lǐng)域，可以用于測定金屬和非金屬材料中的元素含量和質(zhì)量；在地質(zhì)礦物學(xué)中，可以用于礦物的識別和礦石中金屬元素的含量測定；在環(huán)境監(jiān)測中，可以用于檢測水、土壤和空氣等樣品中有毒或有害物質(zhì)的濃度等等。

 

　　近年來，隨著計算機技術(shù)的廣泛應(yīng)用和X射線熒光分析技術(shù)的不斷完善，以及對樣品形狀、大小、不同元素的相互作用等諸多物理參數(shù)(如質(zhì)量吸收系數(shù)、光譜分布、激發(fā)因子等)的積累和多種數(shù)學(xué)校正模式的綜合利用，進行樣品分析時，并不要求測試每個樣品時必須配置相應(yīng)的標(biāo)樣。現(xiàn)代的分析軟件包能自動進行匯編分析程序，操作者只要從儀器顯示的元素周期中輸入所要分析的元素，分析程序就會自動設(shè)定分析元素所需的測量條件和參數(shù)(如X射線管管流和管壓、使用晶體和準(zhǔn)直器等)。當(dāng)然，操作者認(rèn)為有必要，也可修改匯編參數(shù)。